- 商品介绍
产品介绍 Overview
应用范围
适用于制备金属电极、钙钛矿太阳能电池、OLED、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等，可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作，也可用于于小批量及中试生产或大批量生产前的试验工作。
产品特点
设备兼容有机/无机蒸发,可实现多元分蒸或共蒸获得多层膜、复合膜，性能稳定，尤其温控有机蒸发源不仅角度可调，均匀性好，同时可通过进口膜厚仪联动控制实现速率精确控制、掺杂；样品台可升降调整源-基片距离，有效节约贵重材料，降低实验成本；
ATTO10全自动高真空电阻蒸发镀膜系统采用windows操作平台和cotrl2000控制系统，采用IPC+network技术，实现整机主要部件的参数化设置、实施实时监控及故障智能诊断以及膜厚全自动监控，有自动和手动控制两种模式。除取放样品外，其它操作过程全部在PC上使用软件控制；提供真空系统、工艺设置、充放气系统等友好人机操作界面；在工控机上可通过配方设置参数，实现对程序工艺过程和设备参数的设置、储存和打印。
膜厚全自动监控系统，自动设计、工艺读入、参数设置、实时监控等功能，实现整个镀膜过程的全自动控制。可以设置数十层甚至上百层的膜层控制，简单实现单层或多层共蒸。
产品参数
| 手套箱箱体 | ||
|---|---|---|
| 描述 | 材料：不锈钢 type 304 厚度 3 mm 尺寸: 1800mm(L) x 750mm(W) x 900mm(H)+1200mm(L) x 750mm(W) x 900mm(H) | |
| 体积 | 1.2m³+0.8m³ | |
| 前窗 | 面板：8 mm厚安全钢化玻璃 或 10 mm厚度聚碳酸酯 (可供选择) | |
手套口 | 硬铝合金材质或聚甲醛材料 (可供选择) 口径 220 mm, O型圈密封 | |
手套 | 材料：丁基橡胶 厚度： 0.4 mm | |
| 过滤器 | 出口和入口过滤器，过滤<0.3μm | |
| 照明 | LED照明位于前窗顶上部 | |
| 泄漏率 | ≤ 0.05 vol%/h | |
| GP20气体净化系统（两套） | ||
| 描述 | 自动去除 H2O 和 O2 单净化柱系统，自动再生（可选购GP200双净化柱） 密闭的气体循环管路 | |
| 使用电压 | AC 230 V / 50-60 Hz, 10 A | |
| 工作气体 | 工作气：N2、Ar 、He（纯度≥99.999%） 再生气：H2占5%—10%，其余的为工作气（纯度≥99.999%） | |
| 真空泵 | 规格：旋片真空泵, 配带油雾过滤器, 带气镇控制 流量：12 m³/h (7 cfm), 双基片,真空度< 2 x 10-3 mbar 或干泵(可供选择) | |
| 循环单元 | 无油高速风机 风量：0-100 m³/h | |
| 阀门 | 德国宝德电磁阀，模块化设计，优良的密封性能 | |
| 泄漏率 | ≤ 0.05 vol%/h | |
| 控制柜尺寸 | 600mm（L） x 800mm（D） x 870mm（H） | |
过渡舱 | ||
T型大过渡舱 | 材料 | 不锈钢 type 304, 厚度 3 mm |
| 尺寸 | φ360mmx700mm(L) | |
真空度 | < 1 x 10-2 mbar | |
T型小过渡舱 | 材料 | 不锈钢 type 304, 厚度 2 mm |
| 尺寸 | φ150mm x 700mm(L) | |
真空度 | < 1 x 10-2 mbar | |
大过渡舱 | 材料 | 不锈钢 type 304, 厚度 3 mm |
| 尺寸 | φ360mmx600mm(L) 或φ390mmx600mm(L)(可供选择) | |
真空度 | < 1 x 10-2 mbar | |
小过渡舱 | 材料 | 不锈钢 type 304, 厚度 2 mm |
| 尺寸 | φ150mm x 330mm(L) | |
真空度 | < 1 x 10-2 mbar | |
| 清洗系统 | ||
| 描述 | 设置好相应时间和压力，系统可以对箱体自动进行气体置换。 | |
分析仪 | ||
氧气分析仪 | 尺寸 | 205 mm（L） x 80 mm（W） x 60 mm（H） |
测量范围 | 0-1000 ppm | |
其他氧分析仪 | GE oxy.IQ™ Oxygen Transmitter | |
水分分析仪 | 尺寸 | 205 mm（L） x 80 mm（W） x 60 mm（H） |
测量范围 | 0-500 ppm | |
其他水分析仪 | GE VeriDri™ Dew-Point Transmitter | |
溶剂净化系统 | ||
描述 | 材料: 不锈钢1.4301 (SUS type 304), 厚度 3 mm 内部尺寸: 220mm(Φ) x 450mm(H) 优质活性炭 | |
选购设备 | ||
冰箱 | 独立控制系统，集成在箱体侧板，温度-35℃，容积18L或者32L可选 主体304不锈钢板材，5层可变隔层 R404环保型制冷剂，原装进口 | |
| 加热舱 | 大过渡舱配置加热系统，温度为200℃，控温±1℃ | |
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