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伊特克斯 Etelux 伊特克斯 热蒸发镀膜机 配套手套箱

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¥ 236000 / 个
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订货号 U001118
品牌型号 伊特克斯
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产品介绍 Overview

应用范围

适用于制备金属电极、钙钛矿太阳能电池、OLED、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等,可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作,也可用于于小批量及中试生产或大批量生产前的试验工作。

产品特点

设备兼容有机/无机蒸发,可实现多元分蒸或共蒸获得多层膜、复合膜,性能稳定,尤其温控有机蒸发源不仅角度可调,均匀性好,同时可通过进口膜厚仪联动控制实现速率精确控制、掺杂;样品台可升降调整源-基片距离,有效节约贵重材料,降低实验成本;

ATTO10全自动高真空电阻蒸发镀膜系统采用windows操作平台和cotrl2000控制系统,采用IPC+network技术,实现整机主要部件的参数化设置、实施实时监控及故障智能诊断以及膜厚全自动监控,有自动和手动控制两种模式。除取放样品外,其它操作过程全部在PC上使用软件控制;提供真空系统、工艺设置、充放气系统等友好人机操作界面;在工控机上可通过配方设置参数,实现对程序工艺过程和设备参数的设置、储存和打印。

膜厚全自动监控系统,自动设计、工艺读入、参数设置、实时监控等功能,实现整个镀膜过程的全自动控制。可以设置数十层甚至上百层的膜层控制,简单实现单层或多层共蒸。

产品参数

手套箱箱体
描述

材料:不锈钢 type 304 厚度 3 mm

尺寸: 1800mm(L) x 750mm(W) x 900mm(H)+1200mm(L) x 750mm(W) x 900mm(H)

体积1.2m³+0.8m³
前窗

面板:8 mm厚安全钢化玻璃  或 10 mm厚度聚碳酸酯 (可供选择)

手套口

硬铝合金材质或聚甲醛材料 (可供选择)

口径 220 mm, O型圈密封

手套

材料:丁基橡胶

厚度: 0.4 mm 

过滤器出口和入口过滤器,过滤<0.3μm
照明LED照明位于前窗顶上部
泄漏率

≤ 0.05 vol%/h

GP20气体净化系统(两套)
描述

自动去除 H2O 和 O2

单净化柱系统,自动再生(可选购GP200双净化柱)

密闭的气体循环管路

使用电压AC 230 V / 50-60 Hz, 10 A
工作气体

工作气:N2、Ar 、He(纯度≥99.999%)

再生气:H2占5%—10%,其余的为工作气(纯度≥99.999%)

真空泵

规格:旋片真空泵,  配带油雾过滤器, 带气镇控制

流量:12 m³/h (7 cfm), 双基片,真空度< 2 x 10-3 mbar  或干泵(可供选择)

循环单元

无油高速风机

风量:0-100 m³/h

阀门德国宝德电磁阀,模块化设计,优良的密封性能
泄漏率

≤ 0.05 vol%/h

控制柜尺寸

600mm(L) x 800mm(D) x 870mm(H)

过渡舱

T型大过渡舱

材料

不锈钢 type 304, 厚度 3 mm

尺寸φ360mmx700mm(L)

真空度

< 1 x 10-2 mbar

T型小过渡舱

材料

不锈钢 type 304, 厚度 2 mm

尺寸φ150mm x 700mm(L)

真空度

< 1 x 10-2 mbar

大过渡舱

材料

不锈钢 type 304, 厚度 3 mm

尺寸φ360mmx600mm(L) 或φ390mmx600mm(L)(可供选择)

真空度

< 1 x 10-2 mbar

小过渡舱

材料

不锈钢 type 304, 厚度 2 mm

尺寸φ150mm x 330mm(L)

真空度

< 1 x 10-2 mbar

清洗系统
描述设置好相应时间和压力,系统可以对箱体自动进行气体置换。

分析仪

氧气分析仪

尺寸

205 mm(L) x 80 mm(W) x 60 mm(H)

测量范围

0-1000 ppm

其他氧分析仪

GE oxy.IQ™ Oxygen Transmitter

水分分析仪

尺寸

205 mm(L) x 80 mm(W) x 60 mm(H)

测量范围

0-500 ppm

其他水分析仪

GE VeriDri™ Dew-Point Transmitter

溶剂净化系统

描述

材料: 不锈钢1.4301 (SUS type 304), 厚度 3 mm

内部尺寸: 220mm(Φ) x 450mm(H)

优质活性炭

选购设备

冰箱

独立控制系统,集成在箱体侧板,温度-35℃,容积18L或者32L可选

主体304不锈钢板材,5层可变隔层

R404环保型制冷剂,原装进口

加热舱大过渡舱配置加热系统,温度为200℃,控温±1℃




价格及货期说明

乐克价:是指普通会员最终购买商品的价格。

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