- 商品介绍
产品介绍 Overview
CVD是化学气相沉积的英文简写，本公司生产的CVD系统是利用管式炉加热，把构成固态沉积物的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入炉管内，在炉管内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术。
本公司的CVD系统由多路供气系统或液态蒸发器+各种型号管式炉+各种型号抽气系统组成。
技术参数 Specifications
| TL1200管式炉 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 型号 | TL1200-C-I | TL1200-C-II | TL1200-C-III | TL1200-C-IV |
| 功率 | 3.5 KW | 3.5 KW | 3.5 KW | 5 KW |
| 炉管尺寸OD×L（mm） | 60 X 1000 | 80 X 1000 | 100 X 1000 | 150 X 1000 |
| 炉管材质 | 高纯石英管，管径可选，两边各放置一个炉塞，炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射，必须在加热前放置在炉膛的正确位置。
| |||
| 外形尺寸L×W×H（mm） | 580 X 370 X 540 | 580 X 420 X 590 | 580 X 420 X 590 | 580 X 440 X 610 |
| 电源电压 | 单相 AC 220V 50Hz | |||
加热元件 | 进口瑞典Canthal A1 电阻丝 | |||
控温方式 | 采用宇电程序控温仪表（标配） 1、采用30段程序控温智能PID调节； 可选购进口仪表，参考如下：
FP93温控仪 欧陆仪表 触摸屏 | |||
| 断偶保护 | 有 | |||
| 过温保护 | 有 | |||
| 过流保护 | 有 | |||
炉膛材质 | 1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。 | |||
阀门法兰 |
| |||
控制精度 | +/- 1 ℃ | |||
触发器 | 移相触发 | |||
可控硅 | 106/16E 德国西门康 | |||
最高温度 | 1200 ℃ | |||
额定温度 | 1100 ℃ | |||
升温速率 | ≤30 ℃/ min（可根据要求修改） | |||
推荐升温速率 | ≤15 ℃/ min | |||
热电偶型号 | K型 | |||
加热段长度 | 440mm | |||
恒温区长度 | 150mm | |||
温场曲线 |
| |||
四周表面温度 | ≤45 ℃ | |||
开盖保护系统 | 当炉盖打开时继电器会自动切断主电源，有效地保证使用者和设备的安全。 | |||
温度校准（选购） | 定期对管式炉进行温度校准，可保持炉温的准确性和均匀性。您可以在本公司选购一套简单的校准工具，辅助您完成这项工作，完整的校准套件包括标准热电偶，温度校准仪 ，参考示意图：
| |||
| GX供气系统主要参数 | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 质量流量控制器 | 1、量程和气体：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM;1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型） 2、耐压：3Mpa 3、流量控制精度：±1.0%F.S 4、最大工作（使用）压力：0.3Mpa 5、线性：±0.5%F.S 6、重复性：±0.2% F.S
| ||||
| 路数 | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路） | ||||
| 接头类型 | 双卡套接头 | ||||
| 系统工作压力范围 | 0.1~0.5 MPa | ||||
| 工作温度 | 5-45℃ | ||||
| 压力真空表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | ||||
静态混气室 | Dia50 X 400mm | ||||
接口 | Dia6 / 1/4" | ||||
| 产品示意图 |  | ||||
| VS-0.1低真空抽气系统 | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 描述 | 该系统（能把管式炉内的真空度抽到1Pa）由法兰、高真空挡板阀、电阻真空计、波纹管、支架、真空泵组成，在法兰出气嘴处接根三通管，三通管一端接电阻硅，另一端接高真空挡板阀，用Dia25的波纹把挡板阀和真空泵连接起来，连接口用KF25快捷卡箍。（系统内部有方案一和方案二两种供选择） | ||||
| 电源 | 220V | ||||
| 外形尺寸 | 650X650X600 / 650X650X300 | ||||
| 波纹管 | KF25 X 1000mm | ||||
| 用该系统抽炉管真空度可达 | 10 -1Pa | ||||
| 真空挡板阀 | KF25 | ||||
VRD-8真空泵 （方案一） | 1、极限分压强：5X10-2 Pa 2、进出气接口：KF25 3、电机转速：1440rpm 4、抽气速度：2L/s 5、电机功率：0.4KW | ||||
Preiffer ACP15无油多级罗茨泵 （方案二） | 1、电源： AC100-240 50/60Hz 2、功率：450W 3、重量：25kg 4、最高氦气漏率：5·10-8 Pa m3/s 5、抽气速率：14m3/h 6、极限压强：0.02torr 7、进出气接口：KF25 | ||||
电阻真空计 （方案一） | 型号：ZDR-1 功率：25W 真空度测量范围：0.1-10-5 Pa 电阻规：ZJ-52T | ||||
INFICON皮拉尼陶瓷电容真空计 （方案二） | 型号：PCG554 输入电压：24V 1A DC（配有220V变压器） 真空计接口：KF16 数字显示：数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr 产品尺寸：46mm×28mm×126mm ( L x W x H) 检测气体：可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。 是否防腐：防腐 响应时间：≤30ms 测量范围：3.8x10-5—1125 Torr | ||||
注意事项
1.炉管内气压不可高于0.02MPa。
2.由于气瓶内部气压较高，向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa。
3.当使用的炉管为刚玉管时，炉体温度高于1500℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当。
4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的气流对热炉管的冲击。
5.对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。
6.不要在氧化铝管中使用石墨坩埚。
7.MoSi2加热元件不得长时间在在低温下(400℃-700℃)使用,否则将可能损坏加热元件。
8.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不在保修期内。
9.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
产品细节 Details
1、瑞典Kanthal A1 电阻丝
（1）表面温度高可达1420℃；
（2）表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣；
（3）Kanthal电阻丝资料下载；
（4）电阻均衡、温场均衡性好;
（5）瑞典Kanthal A1 电阻丝：电阻均匀、发热量均衡,温场效果好。
其他部分厂家使用的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝，有时候电阻不均衡、一部分发热量大，一部分发热量小。
2、配备安装有漏电保护器
当电路过流或漏电时，空开会自动断开，确保人员和设备的安全。
3、可以与电脑连接
该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。
4、炉膛
（1）真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛；
（2）采用日本技术成型；
（3）炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场；
（4）采用4周加热，温场更加均衡。
5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的进口电器）
6、底脚
7、氧化铝炉塞
8、不锈钢支撑架
9、产品认证
10、标准配件
| 名称 | 数量 | 图片 |
|---|---|---|
| TL1200-C管式炉 | 1台 |  |
| 高纯石英管 | 1根 |  |
| 不锈钢法兰 | 1套 |  |
| 不锈钢炉钩 | 1根 |  |
| 氧化铝炉塞 | 1对 |  |
| 高温手套 | 1双 |  |
| 氧化铝坩埚 | 1个 |  |
| K型热电偶 | 1个 |  |
| COM转USB接口（选配） | 1个 |  |
| 说明书 | 1份 | |
| 软件 | 1份 |
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