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雅马拓 YAMATO 等离子灰化机 PR200/300/301

商 城 价
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品牌型号 雅马拓
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产品介绍 Overview

从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机。

产品特点 Features

● RF为200 W的高性能输出类型(PR200)。

● 由于是尺寸紧凑的台式机,很小的位置都可以安装。

● 同步,自动调谐,操作简单(PR200)。

● 等离子体反应器(灰化设备)(PR200)。

● 同步、自动调谐(PR200)。


用途

● 高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。通过氧化反应,在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能基(微量的水分及二氧化碳影响)。 同样在氮气等离子体中,氮原子被吸收在表面中,生成-NH 2等官能基。

● 硅晶圆蚀刻。

● 材料表面改性(金属、聚合物、薄膜、陶瓷等)。

● 石棉预处理(膜过滤灰化)。

● 从电子设备到生化市场。

● 低温灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。

● 使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。

● 表面有机物去除。

技术参数 Specifications

型号

PR200

PR300

PR301

模式

DP模式,桶型

控制部

高频输出

Max300W

频率

13.56MHz

同调方式

手动2轴同调方式

反应部

反应腔

耐热玻璃 Φ100×160mm

超硬质玻璃 Φ64×160mm×3室

耐热玻璃 Φ118×160mm

反应气体

1系统(氧气)流量计

控制

手动密闭阀

自动减压、自动密闭阀

配管材质

不锈钢、特氟龙、铜、铜合金

不锈钢、特氟龙

外形尺寸

W350×D400×H500mm

W438×D520×H556mm

W438×D520×H630mm

重量

约10kg

约36kg

约34kg

电源

AC100V 15A

AC100V 7A

产品细节 Details

 


价格及货期说明

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