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普发真空 Pfeiffer Vacuum 德国双级旋转叶片泵PK D46 202真空泵 全氟聚醚 (PFPE) 油的腐蚀性版本Duo 65 C

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订货号 1010069
品牌型号 普发真空 Duo 65 C
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产品介绍 Overview

旋片泵的腐蚀性版本是为采用普发真空全氟聚醚 (PFPE) 工作液的运行而准备的。通过这种惰性工作液,这种泵可用于极强腐蚀性的工艺中。PFPE 工作液必须单独订购。

产品特点 Features

● 空间节省且理想适用于系统集成

● 小尺寸时抽吸能力高

● 低最终压力

● 运行安全,针对接触腐蚀性介质使用特殊材料

● 由于化学惰性,工作液使用时间长

● 使用特殊材料,耐性更高

● 终端压力极低,特别适用于细真空应用

● 配备单相串励电机,从而几乎可覆盖各国网络

● 可调节的进口和出口接头,可在垂直或水平方向调节,从而能更好集成

● 已针对 PFPE 操作材料准备就绪

技术参数 Specifications

型号

Duo 65 C

连接法兰(入口)

DN 40 ISO-KF

连接法兰(出口)

DN 40 ISO-KF

50 Hz 时的抽速

62 m³/h | 36.49 cfm | 1,033.33 l/min

60 Hz 时的抽速

70 m³/h | 41.2 cfm | 1,166.67 l/min

带气镇的最终压力

4.5 · 10-3 百帕

不带气镇的最终压力

3 · 10-3 百帕

最小排气压力

气压

最高排气压力

1500 hpa

50 Hz 时的转速

1,500 rpm | 1,500 min-1

60 Hz 时的转速

1,800 rpm | 1,800 min-1

密封气体

false

冷却类型,标准

空气

电机保护

3TF

电机型号

三相电机

环境温度

12 – 40 °C

连续气体温度,最大值

40℃

50 Hz 时不带气镇的声压级

61 (A)

气镇

开关

电源连接:电压(范围)

±5 %

电源连接:电压 50 Hz

230 / 400 V

电源连接:电压 60 Hz

265 / 460 V

电源电缆

工作液体

F5 / A113

工作流体添加

4.2 L

安全阀泄漏率

1 · 10-5 Pa m3/s | 7.5 · 10-5 Torr l/s | 1 · 10-4 mbar l/s 毫米

尺寸(长 x 宽 x 高)

771 x 240 x 340 mm

额定功率 50 Hz

1.5 kw

额定功率 60 Hz

1.8 kw

防护等级

IP55

重量

75 kg

产品细节 Details

产品尺寸 Dimensions

A 771 mm
B 392 mm
C 146 mm

单位:mm

产品应用 Applications

CVD 涂层

涂层(磨损保护)

半导体技术

研究和开发

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