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爱德华 Edwards YT4V0Z003半导体超高真空 STP磁悬浮涡轮分子泵 DN250CF 进气口STPA2203C

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订货号 L0093
品牌型号 爱德华 STPA2203C
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产品介绍 Overview

STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接,从而可用于多种应用和制程中。

Edwards STPA2203C 是为半导体应用而设计的新型涡轮分子泵。它使用先进的转子技术,可实现一流的性能,最大的制程灵活性。全新的半机架控制器能够节省更多空间,而且采用直流驱动技术,无需电池即可运行。STPA2203C 已经由半导体和磁介质行业的大型刻蚀、离子注入和沉积设备制造商投入使用,并得到了认可。

产品特点 Features

先进的转子设计  

更高的气体吞吐量

最大的制程灵活性

5 轴磁悬浮系统  

无污染

少维护

防腐蚀  

可用于严苛制程

使用寿命延长

紧凑型设计  

占地面积小

半机架控制器

先进的控制器设计  

自动调整

自行诊断功能

直流电机驱动

无电池运行

技术参数 Specifications
入口法兰DN250CF
出口KF40
吹扫口KF10
水冷却接头PT1/4
抽速
  N22200 ls-1
  H21700 ls-1
压缩比
  N2>108
  H2>2.5 x 104
极限压力10-6 Pa (10-8 Torr)
允许的最大前级压力400 Pa (3 Torr)
最大氮气吞吐量1500 sccm
额定速度27000 rpm
启动时间7 分钟
固定位置任意
水冷却流量2 lmin-1
水冷却温度5-25 °C
压力0.3 MPa
推荐的吹扫气体流量20 sccm
输入电压200 至 240 (± 10) V 交流
功耗1.5 kVA
泵重量61 kg
控制器重量12 kg


产品应用 Applications

金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)

电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

溅射

离子注入源,射束线泵送端点站

MBE

扩散

光致抗蚀剂脱模

晶体/晶膜生长

晶片检查

负载锁真空腔

科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜

高能物理:射束线、加速器

放射线应用:融合系统、回旋


一、进口真空泵维修:

1、BOC EDWARDS(爱德华):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(贝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其乐):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
9、ULVAC(爱发科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA(岩田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL(汉钟)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、进口真空泵配件销售:
1、类型:真空泵专用维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
2、品牌:BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、进口真空油销售:
品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS专用真空油、ADIXEN专用真空油等。


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