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爱德华 Edwards Vacuum YT810Z030,DN250CF(带集成控制器)涡轮分子真空泵STP-iXA2206C  

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品牌型号 爱德华 STP-iXA2206C
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产品介绍 Overview

STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接,从而可用于多种应用和制程中。

STP-iXA2206 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内领先的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 STP-iXA2205 系列的最新技术)。 该泵的高度等于 STP-A2203C 的高度,也等于 STP-iXA2205 系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。

产品特点 Features

紧凑型设计,包括完全集成的控制器

创新性自传感磁力轴承系统

数字化 5 轴控制

与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%

可以配置为运行腐蚀性制程

技术参数 Specifications
入口法兰尺寸ISO250F/VG250/ICF305
前级抽气口尺寸KF40
抽速 N2/Ar2200/1900 ls-1
压缩比 N2/H2>108 / 1 x 104
极限压力10-7 Pa (10-9 Torr)
允许的前级压力266  Pa (2 Torr)
最大气流 N2 *(仅水冷)3000 sccm

(5.07 Pam3s-1)
最大气流 Ar *(仅水冷)1400 sccm

(2.36 Pam3s-1)
额定速度27000 rpm
运转到 90% 额定速度的时间<8 分钟
固定位置任何方向
输入电压200-240 V
最大输入功率(不带 TMS)1200 VA
重量62 kg

* 最大气流适用于在 15-25 °C 之间的水冷却温度下连续泵送 N2 或 Ar 气体,并且使用前级泵(10,000 l/min 大小)的情况。 它会随条件变化而变化。

产品尺寸 Dimensions

进气口
法兰
VG250ISO250FICF305
ØA350335305
ØB296296296
C181628
D235245275
E395405435
F312322352
G281291321
H283293323
I322332322

   

产品应用 Applications

金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)

电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

溅射

离子注入源,射束线泵送和站

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