- 商品介绍
产品介绍 Overview
STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴，确保无污染的风险，同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接，从而可用于多种应用和制程中。
Edwards STP-iXA4506 系列磁悬浮涡轮分子泵 (TMP) 使用最先进的技术，为如今具有挑战性的应用提供业内领先的性能、更好的气流能力和高温管理。
产品特点 Features
由于采用全集成控制器和电源，不需要电缆和单独的
控制器安装卡槽，从而使 TMP 组件具有成本效益且结构紧凑，能够快速简单地安装在狭小的空间。
最大连续流量达 4300 sccm (N2)，与 STP-XA4503 相比性能提高 50% 以上。
使用最高 35 °C 的冷却水供应时，泵能够高效运转。
提供了温度管理系统 (TMS) 装置，用于处理在过程中产生的副产品。
I/O 远程、RS232C、RS485、STP-Link 是标配端口。
UL 标记，CE 标记，符合 SEMI-S2 和 RoHS 标准。
技术参数 Specifications
| 出口法兰 | KF40 | |
| 抽取速度 | ||
| N2/H2 | 升/秒 | |
| VG300 | 3800/2700 | |
| ISO320F | 4000/2700 | |
| VG350 | 4300/2700 | |
| VG400 | 4300/2700 | |
| 压缩比 N2/H2 | >108 / 103 | |
| 极限压力 | Pa (Torr) | 10-7(10-9) |
| 允许的前级压力 | Pa (Torr) | 266(2) |
| 最大气体流速 N2 *1 | 4300 | |
| （仅水冷却） | (Pa m3/sec) | (7.26) |
| 最大气体流速 Ar *1 | 2600 | |
| （仅水冷却） | (Pa m3/sec) | (4.39) |
| 额定速度 | rpm | 24,240 |
| 启动时间 | 分钟 | 11 |
| 固定位置 | 任何方向 | |
| 输入电压 | V | 200-240 |
| 最大输入功率 | ||
| 不带 TMS | VA | 1700 |
| 带 TMS | VA | 2200 |
| 重量 | kg | |
| VG300 | 109 | |
| ISO320F | 111 | |
| VG350 | 104 | |
| VG400 | 111 |
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