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爱德华 Edwards Vacuum YT780Z030,VG400(带集成控制器)涡轮分子真空泵STP-iXA 4506  

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品牌型号 爱德华 STP-iXA 4506
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产品介绍 Overview

STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接,从而可用于多种应用和制程中。

Edwards STP-iXA4506 系列磁悬浮涡轮分子泵 (TMP) 使用最先进的技术,为如今具有挑战性的应用提供业内领先的性能、更好的气流能力和高温管理。

产品特点 Features

由于采用全集成控制器和电源,不需要电缆和单独的

控制器安装卡槽,从而使 TMP 组件具有成本效益且结构紧凑,能够快速简单地安装在狭小的空间。

最大连续流量达 4300 sccm (N2),与 STP-XA4503 相比性能提高 50% 以上。

使用最高 35 °C 的冷却水供应时,泵能够高效运转。

提供了温度管理系统 (TMS) 装置,用于处理在过程中产生的副产品。

I/O 远程、RS232C、RS485、STP-Link 是标配端口。

UL 标记,CE 标记,符合 SEMI-S2 和 RoHS 标准。

技术参数 Specifications
出口法兰
KF40
抽取速度

N2/H2升/秒
VG300
3800/2700
ISO320F
4000/2700
VG350
4300/2700
VG400
4300/2700
压缩比 N2/H2
>108 / 103
极限压力Pa (Torr)10-7(10-9)
允许的前级压力Pa (Torr)266(2)
最大气体流速 N2 *1
4300
(仅水冷却)(Pa m3/sec)(7.26)
最大气体流速 Ar *1
2600
(仅水冷却)(Pa m3/sec)(4.39)
额定速度rpm24,240
启动时间分钟11
固定位置
任何方向
输入电压V200-240
最大输入功率

不带 TMSVA1700
带 TMSVA2200
重量kg
VG300
109
ISO320F
111
VG350
104
VG400
111

   

产品尺寸 Dimensions

VG300VG350VG400ISO320F
φA4004501520425
φB420420420420
C18181820
D387332332378
E457420420466
F266211211256
G344289289335
H404349349394
I362307307353

   

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