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爱德华 Edwards Vacuum B74830020,ISO100 入口 KF25 出口,超高真空涡轮分子真空泵B74830020  

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产品介绍 Overview

STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接,从而可用于多种应用和制程中。

Edwards STP301 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子技术可实现一流的性能,最大的制程灵活性。STP301 已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。

此 STP 泵在供货时带有入口筛网。 

如需完整安装,请订购一台 STP 泵、一个控制器、一根连接电缆和一根电源电缆。

产品特点 Features

先进的转子技术  最大的制程灵活性

无油

低振动

高度可靠

免维护

先进的控制器设计  自动调整

自行诊断功能

直流电机驱动

无电池运行

紧凑型设计  占地面积小

半机架控制器

技术参数 Specifications
入口法兰ISO100,CF100
出口KF25
抽速
  N2300 ls-1
  H2300 ls-1
压缩比
  N2>108
  H2>2 x 104
加热时的极限压力(VG/ISO 法兰)6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr)
加热时的极限压力(ICF 法兰)10-8 Pa (10-10 Torr)
最大允许进气口压力(环境空气冷却)0.066 Pa (5 x 10-4 Torr)
最大连续出口压力(环境空气冷却)13 Pa (0.1 Torr)
额定速度48000 rpm
启动时间3 min
最高入口法兰温度120 °C
输入电压100 至 120 (± 10%) V 交流或

200 至 240 (± 10%) V 交流
启动时的功耗0.55 kVA
泵重量11 kg
控制器重量7 kg

   

产品尺寸 Dimensions

   

产品应用 Applications

金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)

电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

溅射

离子注入源,射束线泵送端点站

MBE

扩散

光致抗蚀剂脱模

晶体/晶膜生长

晶片检查

负载锁真空腔

科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜

高能物理:射束线、加速器

放射线应用:融合系统、回旋

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