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爱德华 Edwards Vacuum B75800090,ISO100 入口,超高真空涡轮分子真空泵STP-L301  

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品牌型号 爱德华 STP-L301
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产品介绍 Overview

STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接,从而可用于多种应用和制程中。

Edwards STP-L301 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子技术可实现一流的性能,最大的制程灵活性。

产品特点 Features

先进的转子技术  最大的制程灵活性

无油

低振动

高度可靠

免维护

先进的控制器设计  自动调整

自行诊断功能

直流电机驱动

无电池运行

紧凑型设计  占地面积小

半机架控制器

低振动  内置振动隔离系统提供了优于 STP301C 和外部隔离器的性能。

技术参数 Specifications


入口法兰ISO100,CF100
出口KF25
吹扫口KF10
抽速
  N2260 ls-1
  H2290 ls-1
压缩比
  N2>108
  He5 x 105
  H22 x 104
加热时的极限压力(VG/ISO 法兰)6.5 x 10-6 Pa

(5 x 10-8 Torr)
加热时的极限压力(ICF 法兰)10-8 Pa

(10-10 Torr)
最大允许进气口压力(环境空气冷却)6.7 x 10-2 Pa

(5 x 10-4 Torr)
最大连续出口压力(环境空气冷却)13 Pa

(0.1 Torr)
额定速度48000 rpm
启动时间3 min
最高入口法兰温度120 °C
输入电压100 至 120 (± 10) V 交流或

200 至 240 (± 10) V 交流
启动时的功耗0.55 kVA
泵重量13 kg
控制器重量7 kg


产品尺寸 Dimensions


A. 接头B. 出口


产品应用 Applications

金属(铝)、钨和介电(氧化物)以及多晶硅的等离子蚀刻(氯、氟和溴化学物质)

电子回旋共振 (ECR) 蚀刻

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

溅射

离子注入源,射束线抽取端站

MBE

扩散

光阻剥离

晶体/外延生长

晶圆检查

负载锁定室

科学仪器: 表面分析,质谱分析,电子显微镜

高能物理: 射束线,加速器

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