- 商品介绍
产品介绍 Overview
STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴，确保无污染的风险，同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接，从而可用于多种应用和制程中。
Edwards STP-L301 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子技术可实现一流的性能，最大的制程灵活性。
产品特点 Features
先进的转子技术 最大的制程灵活性
无油
低振动
高度可靠
免维护
先进的控制器设计 自动调整
自行诊断功能
直流电机驱动
无电池运行
紧凑型设计 占地面积小
半机架控制器
低振动 内置振动隔离系统提供了优于 STP301C 和外部隔离器的性能。
技术参数 Specifications
| 入口法兰 | ISO100，CF100 |
| 出口 | KF25 |
| 吹扫口 | KF10 |
| 抽速 | |
| N2 | 260 ls-1 |
| H2 | 290 ls-1 |
| 压缩比 | |
| N2 | >108 |
| He | 5 x 105 |
| H2 | 2 x 104 |
| 加热时的极限压力（VG/ISO 法兰） | 6.5 x 10-6 Pa |
| (5 x 10-8 Torr) | |
| 加热时的极限压力（ICF 法兰） | 10-8 Pa |
| (10-10 Torr) | |
| 最大允许进气口压力（环境空气冷却） | 6.7 x 10-2 Pa |
| (5 x 10-4 Torr) | |
| 最大连续出口压力（环境空气冷却） | 13 Pa |
| (0.1 Torr) | |
| 额定速度 | 48000 rpm |
| 启动时间 | 3 min |
| 最高入口法兰温度 | 120 °C |
| 输入电压 | 100 至 120 (± 10) V 交流或 |
| 200 至 240 (± 10) V 交流 | |
| 启动时的功耗 | 0.55 kVA |
| 泵重量 | 13 kg |
| 控制器重量 | 7 kg |
产品尺寸 Dimensions
| A. 接头 | B. 出口 |
产品应用 Applications
金属（铝）、钨和介电（氧化物）以及多晶硅的等离子蚀刻（氯、氟和溴化学物质）
电子回旋共振 (ECR) 蚀刻
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线抽取端站
MBE
扩散
光阻剥离
晶体/外延生长
晶圆检查
负载锁定室
科学仪器： 表面分析，质谱分析，电子显微镜
高能物理： 射束线，加速器
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