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爱德华 Edwards Vacuum B71901001,ISO160K 进气口,涡轮分子真空泵STPH451C  

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品牌型号 爱德华 STPH451C
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产品介绍 Overview

STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接,从而可用于多种应用和制程中。

Edwards 的高性能 STPH451C 涡轮分子泵是为最严苛的半导体应用而设计的。这种泵经过实践检验的可靠性和一流的性能可以实现最大的制程灵活性。STPH451C 已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。

产品特点 Features

先进的转子技术  更高的气体吞吐量

最大的制程灵活性

无油

低振动

高度可靠

免维护

可用于严苛制程

使用寿命延长

先进的控制器设计  自动调整

自行诊断功能

直流电机驱动

无电池运行

紧凑型设计  占地面积小

半机架控制器

5 轴磁悬浮系统  无污染

少维护

任意方向操作

技术参数 Specifications
入口法兰ISO160K
出口KF40
吹扫口KF10
水冷却接头PT1/4
抽速
  N2450 ls-1
  H2300 ls-1
压缩比
  N2>108
  H2103
加热时的极限压力10-7 Pa

(10-9 Torr)
最大连续出口压力660 Pa

(5 Torr)
最大氮气吞吐量2500 sccm
额定速度48000 rpm
启动时间4 分钟
最高入口法兰温度120 °C
输入电压100 至 120 (± 10) V 交流或

200 至 240 (± 10) V 交流
功耗0.6 kVA
泵重量15 kg
控制器重量9 kg


产品尺寸 Dimensions


A电气接头B出口C吹扫口
D冷却水出口E冷却水入口


产品应用 Applications

金属(铝)、钨和介电(氧化物)以及多晶硅的等离子蚀刻(氯、氟和溴化学物质)

电子回旋共振 (ECR) 蚀刻

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

溅射

离子注入源,射束线抽取端站

MBE

扩散

光阻剥离

晶体/外延生长

晶圆检查

负载锁定室

科学仪器: 表面分析,质谱分析,电子显微镜

高能物理: 射束线,加速器

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