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爱德华 Edwards Vacuum YT3626005,ISO200F 进气口,涡轮分子真空泵STPA1303C  

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产品介绍 Overview

STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接,从而可用于多种应用和制程中。

Edwards STPA1303C TMS 是新型的涡轮分子泵,可在半导体应用中使用。Edwards 的先进转子技术可实现一流的性能和最大的制程灵活性。STPA1303C TMS 已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。

产品特点 Features

先进的转子技术  更高的气体吞吐量

最大的制程灵活性

无油

低振动

高度可靠

免维护

可用于严苛制程

使用寿命延长

先进的控制器设计  自动调整

自行诊断功能

直流电机驱动

无电池运行

紧凑型设计  占地面积小

半机架控制器

技术参数 Specifications
入口法兰ISO200F
出口KF40
吹扫口KF10
水冷却接头PT1/4
抽速
  N21300 ls-1
  H2800 ls-1
压缩比
  N2>108
  H2103
加热时的极限压力10-7 Pa

(10-9 Torr)
最大连续出口压力*270 Pa

(2 Torr)
最大氮气吞吐量*1500 sccm
额定速度32500 rpm
启动时间7 分钟
最高入口法兰温度120 °C
输入电压200 至 240 (± 10) V 交流
功耗0.85 kVA
泵重量39 kg
控制器重量9 kg


1.1300 ls-1  N22.800 ls-1  H2


产品应用 Applications

金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)

电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

溅射

离子注入源,射束线泵送端点站

MBE

扩散

光致抗蚀剂脱模

晶体/晶膜生长

晶片检查

负载锁真空腔

科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜

高能物理:射束线、加速器

放射线应用:融合系统、回旋

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