一旦商品在30日内降价,您将收到邮件、短信和手机推送消息!通过手机客户端消息提醒,购买更便捷~
*价格低于:
时,通知我
*手机号码:
*邮箱地址:

提示

X
我的购物车 0
收藏宝贝

爱德华 Edwards Vacuum YT4616004,ISO200F 进气口,涡轮分子真空泵STPA1603CV TMS  

商 城 价
电话询价 :13926569166
累计评价0
累计销量0
手机购买
商品二维码
订货号 U002568
原厂货号 U002568
品牌型号 爱德华 STPA1603CV TMS
库存 有库存
缺货出货日 次日出货 出货及送达时效说明 >>
最小订货量 1个
+ -
加入购物车
爱德华
支付方式: 支付宝转账 微信转账 线下转账 账期付款
乐克特色
  • 正品行货 品类齐全
  • 多仓直发 货期保证
  • 会员特折 满额包邮
  • 阳光采购 一站服务
  • 商品介绍
产品介绍 Overview

STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接,从而可用于多种应用和制程中。

小巧而强大的 Edwards STPA1603C 涡轮分子泵采用 Edwards 先进的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、最高的可靠性和一流的性能,满足最新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间,而其先进的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C 已经在最新的 200 mm 刻蚀工具上得到了证明,也能够满足新一代 300 mm 氧化物腐蚀制程的需要。

产品特点 Features

先进的转子设计  改进的性能

更高的气体吞吐量

高度可靠

免维护

可用于严苛制程

5 轴磁悬浮系统  无污染

低振动

防腐蚀  可用于严苛制程

使用寿命延长

紧凑型设计 

占地面积小

半机架控制器

先进的控制器设计  自动调整

自行诊断功能

直流电机驱动

无电池运行

技术参数 Specifications
入口法兰ISO200F
出口KF40
吹扫口KF16
水冷却接头PT1/4
抽速
  N21600 ls-1
  H21200 ls-1
压缩比
  N2>108
  H2>7 x 103
加热时的极限压力10-7 Pa
最大允许前级压力266 Pa

(2 Torr)
最大氮气吞吐量2500 sccm
额定速度36500 rpm
启动时间7 分钟
固定位置任意
水冷却流量2 lmin-1
温度5-25 °C
压力0.3 MPa
推荐的吹扫气体流量20 sccm
输入电压200 至 240 (± 10) V 交流
功耗0.85 kVA
泵重量35 kg
控制器重量9 kg



产品尺寸 Dimensions


A电气接头B出口C吹扫口
D冷却水出口E冷却水入口


产品应用 Applications

金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)

电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

溅射

离子注入源,射束线泵送端点站

MBE

扩散

光致抗蚀剂脱模

晶体/晶膜生长

晶片检查

负载锁真空腔

科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜

高能物理:射束线、加速器

放射线应用:融合系统、回旋

价格及货期说明

乐克价:是指普通会员最终购买商品的价格。

会员价或折扣价:是指通过企业认证的会员,可享的专属审批折扣价。

缺货货期:是指在产品无现货或者库存无法满足采购量时的一个参考发货日期。在商品暂无现货或目前库存不能满足您的采购量时,乐克需要一定的时间来为您备货;如商品的缺货货期是10天,则您下单后,乐克会在10天内尽快为您发货。如果数量庞大,请咨询我们客服具体货期。

保障声明

正品保障

乐克向您保证所售商品均为正品行货,开具正规发票。

注:因厂家会不提前通知的情况下更改产品包装、附件或产地,本司不能确保客户收到的货物与本网站的图片、产地、附件说明完全一致。只能确保为原厂正货!并且保证与当时市场上同品牌同型号的主流产品一致。若本网站没有及时更新,敬请谅解!

售后保障

乐克产品在使用过程中如因产品质量问题有“退换返修”的需求,您可通过乐克客户端提交您的售后申请,乐克客服会第一时间为您处理,在售后服务过程中如遇到问题也可致电乐克客服热线:400-885-8833

2、售后上门取件

您购买的乐克商品7日内(含7日,自物流系统反馈签收之日起计算)因质量问题(非人为使用损坏)提交退换申请且审核通过,在乐克配送范围内,乐克提供免费上门取件服务。非质量问题的上门取件需要收费。法定节假日、停电、天气等不可抗力情况除外。

3、质量故障处理的时效保障

您购买的乐克商品在质保期内如出现故障,乐克售后服务部收到故障品并确认属于质量故障(以国家三包法等有关法律、法规为准)开始计时。在1个工作日内(工作时间每周一至周五,8:30至17:30,法定节假日、停电等无法正常处理情况除外)给出售后问题的处理方案。

权利声明

乐克上的所有商品信息(包括但不限于商品图片、商品介绍、产品视频及文档)、产品咨询信息,是乐克重要的经营资源,未经许可,禁止非法转载及使用。