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爱德华 Edwards Vacuum YT4616005,DN200CF 进气口,涡轮分子真空泵STPA1603CV TMS  

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产品介绍 Overview

STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接,从而可用于多种应用和制程中。

小巧而强大的 Edwards STPA1603C 涡轮分子泵采用 Edwards 先进的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、最高的可靠性和一流的性能,满足最新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间,而其先进的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C 已经在最新的 200 mm 刻蚀工具上得到了证明,也能够满足新一代 300 mm 氧化物腐蚀制程的需要。

产品特点 Features

先进的转子设计  改进的性能

更高的气体吞吐量

高度可靠

免维护

可用于严苛制程

5 轴磁悬浮系统  无污染

低振动

防腐蚀  可用于严苛制程

使用寿命延长

紧凑型设计 

占地面积小

半机架控制器

先进的控制器设计  自动调整

自行诊断功能

直流电机驱动

无电池运行

技术参数 Specifications
入口法兰ISO200F
出口KF40
吹扫口KF16
水冷却接头PT1/4
抽速
  N21600 ls-1
  H21200 ls-1
压缩比
  N2>108
  H2>7 x 103
加热时的极限压力10-7 Pa
最大允许前级压力266 Pa

(2 Torr)
最大氮气吞吐量2500 sccm
额定速度36500 rpm
启动时间7 分钟
固定位置任意
水冷却流量2 lmin-1
温度5-25 °C
压力0.3 MPa
推荐的吹扫气体流量20 sccm
输入电压200 至 240 (± 10) V 交流
功耗0.85 kVA
泵重量35 kg
控制器重量9 kg



产品尺寸 Dimensions


A电气接头B出口C吹扫口
D冷却水出口E冷却水入口


产品应用 Applications

金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)

电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

溅射

离子注入源,射束线泵送端点站

MBE

扩散

光致抗蚀剂脱模

晶体/晶膜生长

晶片检查

负载锁真空腔

科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜

高能物理:射束线、加速器

放射线应用:融合系统、回旋

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